箱式石英退火爐是一種在材料科學(xué)、半導(dǎo)體工程和陶瓷工藝中常用的設(shè)備，特別是在對石英、玻璃和晶體進(jìn)行高溫?zé)崽幚頃r。"箱式"指的是爐子的結(jié)構(gòu)，通常是一個有蓋的箱形空間，可以打開和關(guān)閉以便放入或取出樣品。石英退火爐通常使用電阻加熱元件來加熱爐內(nèi)的空間。

退火是一種熱處理過程，通過加熱材料至一定溫度，保持這個溫度足夠時間后，再讓其緩慢冷卻，以此來減少材料內(nèi)部的應(yīng)力、改善它的微觀結(jié)構(gòu)、提高化學(xué)均勻性、增強材料的機械性能和穩(wěn)定性。石英退火爐特別適合用于對石英玻璃和石英基材料的退火，因為它們在高溫下需要一定的氛圍控制(如氧化或還原氣氛)以防止材料變質(zhì)。

箱式石英退火爐通常配備高精度溫度控制系統(tǒng)和程序控制，以確保熱處理過程連續(xù)且可重復(fù)。這對于需要高精度的溫度控制和均勻的熱分布，比如在半導(dǎo)體行業(yè)中，退火對改善晶體管和集成電路的特性至關(guān)重要。

此類爐子可以設(shè)計為在不同的氣氛下工作，如真空、惰性氣體、還原性或氧化性氣氛等，以適應(yīng)各種不同的材料處理需求。高純度石英材料的使用則能承受高溫，并保證處理過程中的材料不被雜質(zhì)污染。